電動真空弁EVBシリーズ


さらに進化、多段制御の真空弁
モータ駆動により、弁の開度を多段制御して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁。


 
ウルトラファイン構想

モータ駆動で開度設定30点
外部信号によりモータ駆動で開度調整。
最小ピッチ0.15mm(NW25の場合)。
簡易的なコンダクタンス可変のシステムや、真空制御の自動化に最適。
開度監視機能、各種信号出力
内蔵エンコーダで現在開度を監視。
位置決めの完了信号出力、各種アラーム出力機能。
弁閉は実績のあるスプリングシール
高真空用エアオペレイトバルブAVB※※7シリーズにて実績のあるスプリングシール方式を採用。停電など、電源が切れた場合でもスプリングにより強制的に弁閉動作するため安全。
寿命・シール性抜群
高真空用エアオペレイトバルブAVB※※7シリーズにて実績のあるベローズを採用。
一般的バタフライ弁方式に比べ、寿命・シール性で信頼性の高いポペット方式。
・公称寿命100万回(当社試験による)
・シール性は従来のAVBシリーズに相当。

項目
EVB317
EVB417
EVB517
使用流体
真空および不活性ガス
使用圧力範囲 Pa(abs)
1.3×10-6〜1×105
設定ポイント
(ストロークを分割した)30ポイント
分解能 mm
0.15
0.30
0.40
繰返し制度 mm
0.10
0.15
0.20
使用最大差圧 MPa
0.1
弁座漏れ Pa・m3/s(He)
1.3×10-10以下
外部漏れ Pa・m3/s(He)
1.3×10-10以下
耐圧 MPa
0.3
使用流体温度範囲 ℃
5〜60
使用周囲温度範囲 ℃
5〜50(ただし、結露、凍結なきこと)
使用湿度範囲 %
35〜85(ただし、結露、凍結なきこと)
保存湿度範囲 %
35〜85(ただし、結露、凍結なきこと)
使用雰囲気
腐食性ガスなきこと
オリフィス mm
Φ24
Φ39
Φ48
コンダクタンス l/s
13
43
74
接続方式
NW25
NW40
NW50
質量 kg
1.1
2.6
3.3
※:外部シールのOリングには、高真空用グリースを使用しております。
※:コンダクタンスの値は分子流域において理論計算値であり、実測値ではありません。

 
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