・DyvoceMeasure -形状測定ソフトウェア-
ステージの位置決めをはじめ、豊富な駆動・測定機能により、測定パターンを実現させます。
専用解析ソフト・CSV 形式でのデータ保存が可能です。
・SpiderMeasure -間引き測定-
クロスライン・インクライン・サークル状の様々なスキャン測定を組合わせることにより近似的に表面形状を測定する機能です。
全面スキャンに対して圧倒的な測定時間の短縮となります。
・GridMaker -複数ワーク一括測定-
複数ワークの測定を一連の測定シーケンスとして完了させます。
様々なワーク形状・測定パラメータ・配置の組み合わせでも対応。
設定したプログラムごとの個々のデータとして順次保存していきます。
・DyvoceAnalyzer -解析ソフトウェア-
取得データからの2D/3D 断面形状プロファイルよりグラフ表示・各種計測と、様々な解析を行います。
CSV ファイルへのエクスポートや報告書作成に便利なレポート出力も可能です。
・SORI -SEMI 規格-
測定データから、SEMI 規格の【SORI】量の自動算出を行います。
最大値・最小値のポイントもイメージ内に表示します。
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