空
圧
・
油
圧
・
真
空
直
動
シ
ス
テ
ム
・
関
連
ロ
ボ
ッ
ト
・
Ｆ
Ａ
制
御
・
検
出
・
計
測
駆
動
・
回
転
軸
受
・
素
材
・
機
械
動
力
伝
達
・
伝
動
搬
送
・
運
搬
ポ
ン
プ
・
送
風
機
・
粉
体
工
場
設
備
・
環
境
-120
CKD 小形流量センサ
CKD Micro Flow Sensors
CKD
100112
大流量でもコンパクト
500、1000L/minタイプでは、従
来体積比1/3。小型化を実現しま
した。
双方向での流体計測が可能
表示一体型・双方向タイプは、
流れ方向を任意に設定して計測
することができます。逆流検知用
としても使用できます。
精度UP、±3％FS以下
より正確な流量計測が可能です。
小形流量センサラピフロー FSM2シリーズ
ツイン表示/2色表示機能
表示一体型ではメイン画面とサ
ブ画面を設けることで操作性を
向上させ、2色表示で異常が一目
で判ります。
バー表示機能
表示分離型では、流量バー表示で
目安流量が一目で把握できます。
オートリファレンス機能
ボタン操作や外部入力で、スイッチ
出力設定値の自動取得が可能に。
最大1000L/minまでレンジ拡大。操作性を追求したツイン＆2色表示
オートリファレンス機能を搭載し使い易さを大幅に向上させました。
形番表示方法
FSM2 - A V R 005 - S06 AR I B K
○
イ
○
ロ
○
ハ
○
ニ
○
ホ
○
ヘ
○
ト
○
チ
○
リ
○
イ
出力タイプ
表示分離型（アナログ出力1
点のみ）
A
表示一体型（スイッチ出力（NPN）
2点、アナログ出力1点）
N
表示一体型（スイッチ出力（PNP）
2点、アナログ出力1点）
P
○
ロ
アナログ出力形式
電流出力（4-20mA）
A
電圧出力（1-5V）
V
○
ハ
流れ方向
双方向
R
片方向
F
○
ニ
流量レンジ（フルスケール流量）
50
/min
500
500m
/min
005
100
/min
101
1
/min
010
200
/min
201
2
/min
020
500
/min
501
5
/min
050
1000
/min
102
10
/min
100
20
/min
200
○
ホ
接続口径（ボディ材質）
ワンタッチφ4（樹脂）
H04
ワンタッチφ6（樹脂）
H06
ワンタッチφ8（樹脂）
H08
ワンタッチφ10（樹脂）
H10
Rc1/8（ステンレス）
S06
Rc1/4（ステンレス）
S08
Rc1/2（アルミ）
A15
M5（ステンレス）
（受注生産品）
SM5
○
ヘ
ガス種
炭酸ガス
C2
空気、窒素ガス
無記号
アルゴン
AR
○
ト
ケーブル
3m
3
なし
無記号
1m
1
○
チ
ブラケット
ブラケット付
B
なし
無記号
○
リ
トレーサビリティ
■小形流量センサラピフロー FSM2シリーズ表示一体型（空気・窒素ガス用）仕様
保有機能
電源電圧
アナログ出力
スイッチ出力
精度
使用流体
流量レンジ
/min
形 番
A
V
A
V
P
N
温度特性
圧力特性
直作性
流量表示、
流量表示ピーク
ホールド
スイッチ出力
アナログ出力
DC
24V
DC
12∼24V
4∼20mA
電流出力
1点
1∼5V
電圧出力
1点
出力2点
PNP
オープン
コレクタ
出力
出力2点
NPN
オープン
コレクタ
出力
±2％
FS/℃
以下
±5％
F, S以下
±3％
F, S以下
空気
窒素ガス
500m
/min
FSM2-N/P□□005- □
1
FSM2-N/P□□010- □
2
FSM2-N/P□□020- □
5
FSM2-N/P□□050- □
10
FSM2-N/P□□100- □
20
FSM2-N/P□□200- □
50
FSM2-N/P□□500- □
100
FSM2-N/P□□101- □
200
FSM2-N/P□□201- □
500
FSM2-N/P□□501- □
1000
FSM2-N/P□□102- □
■表示一体型（空気・窒素ガス用）
（流れ方向：片方向F）
（スイッチ出力（NPN）2点アナログ出力1点：N）価格
価 格
形 番
価 格
形 番
価 格
形 番
価 格
形 番
78,340
FSM2-N※F500-S08
78,340
FSM2-N※F100-S06
65,340
FSM2-N※F020-H06
65,340
FSM2-N※F005-H04
71,170
FSM2-N※F101-H08
78,340
FSM2-N※F100-SM5
78,340
FSM2-N※F020-S06
65,340
FSM2-N※F005-H06
71,170
FSM2-N※F101-H10
65,340
FSM2-N※F200-H04
78,340
FSM2-N※F020-SM5
78,340
FSM2-N※F005-S06
85,340
FSM2-N※F101-S08
65,340
FSM2-N※F200-H06
65,340
FSM2-N※F050-H04
78,340
FSM2-N※F005-SM5
77,000
FSM2-N※F201-H08
78,340
FSM2-N※F200-S06
65,340
FSM2-N※F050-H06
65,340
FSM2-N※F010-H04
77,000
FSM2-N※F201-H10
78,340
FSM2-N※F200-SM5
78,340
FSM2-N※F050-S06
65,340
FSM2-N※F010-H06
89,500
FSM2-N※F201-S08
65,340
FSM2-N※F500-H06
78,340
FSM2-N※F050-SM5
78,340
FSM2-N※F010-S06
99,170
FSM2-N※F501-A15
65,340
FSM2-N※F500-H08
65,340
FSM2-N※F100-H04
78,340
FSM2-N※F010-SM5
103,400
FSM2-N※F102-A15
78,340
FSM2-N※F500-S06
65,340
FSM2-N※F100-H06
65,340
FSM2-N※F020-H04
■表示一体型（空気・窒素ガス用）
（流れ方向：片方向F）
（スイッチ出力（PNP）2点アナログ出力1点：P）価格
価 格
形 番
価 格
形 番
価 格
形 番
価 格
形 番
78,340
FSM2-P※F500-S08
78,340
FSM2-P※F100-S06
65,340
FSM2-P※F020-H06
65,340
FSM2-P※F005-H04
71,170
FSM2-P※F101-H08
78,340
FSM2-P※F100-SM5
78,340
FSM2-P※F020-S06
65,340
FSM2-P※F005-H06
71,170
FSM2-P※F101-H10
65,340
FSM2-P※F200-H04
78,340
FSM2-P※F020-SM5
78,340
FSM2-P※F005-S06
85,340
FSM2-P※F101-S08
65,340
FSM2-P※F200-H06
65,340
FSM2-P※F050-H04
78,340
FSM2-P※F005-SM5
77,000
FSM2-P※F201-H08
78,340
FSM2-P※F200-S06
65,340
FSM2-P※F050-H06
65,340
FSM2-P※F010-H04
77,000
FSM2-P※F201-H10
78,340
FSM2-P※F200-SM5
78,340
FSM2-P※F050-S06
65,340
FSM2-P※F010-H06
89,500
FSM2-P※F201-S08
65,340
FSM2-P※F500-H06
78,340
FSM2-P※F050-SM5
78,340
FSM2-P※F010-S06
99,170
FSM2-P※F501-A15
65,340
FSM2-P※F500-H08
65,340
FSM2-P※F100-H04
78,340
FSM2-P※F010-SM5
103,340
FSM2-P※F102-A15
78,340
FSM2-P※F500-S06
65,340
FSM2-P※F100-H06
65,340
FSM2-P※F020-H04